《中国科学基金》

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Science Foundation in China

自然科学进展

Progress in Natural Science
 

《中国科学基金》
 

 
微纳系统材料、制造与器件物理研究进展
封松林,王 曦,王跃林,曹俊诚,李昕欣,龚 谦,李 铁
中国科学院上海微系统与信息技术研究所, 上海 200050
摘要:  本文基于“微纳系统材料、制造与器件物理”国家自然科学基金创新研究群体的研究成果,系统综述了纳米材料与纳米效应、纳米传感器件物理与器件设计、基于MEMS的纳米制造技术以及高性能微纳传感器、红外及THz波段探测等方面的研究进展,并简要介绍了本创新研究群体研制出的超微量快速检测微纳传感器及其应用。
关键词:  纳米材料,纳米效应,微纳制造,微纳传感器
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